Richtfest am Reinraum-Erweiterungsbau des IPHT: Hier schlägt das technologische Herz des Institutes

In Reinräumen, vor allem aus der Halbleiterfertigung bekannt, wird die Konzentration an luftgetragenen Teilchen so gering wie möglich gehalten. Diese Partikel würden die Herstellung von Schaltkreisen oder anderer Bauteile in der Größenordnung von Bruchteilen eines Mikrometers empfindlich stören.

Der IPHT-Reinraum wird gemeinschaftlich mit der Friedrich-Schiller-Universität Jena (u.a. Institut für Angewandte Physik) genutzt. Er wird zu einem der modernsten seiner Art in Thüringen ausgebaut und ermöglicht so zukünftig Forschung und Entwicklung auf einem neuen Niveau. „Hier schlägt das technologische Herz des Institutes“, so Prof. Popp. Staatssekretär Prof. Thomas Deufel vom Thüringer Ministerium für Bildung, Wissenschaft und Kultur fügte hinzu: „Durch den Ausbau erfährt der Wissenschaftsstandort Beutenberg-Campus als ein Kompetenzzentrum der Mikro- und Nanotechnologie von europäischem Rang insgesamt eine Aufwertung.“ Prof. Deufel betonte in diesem Zusammenhang die Bedeutung der Reinraumerweiterung für die regionale Wirtschaft. Ansässige Unternehmen im Hochtechnologiebereich sind auf die Nutzung von Reinraumflächen angewiesen. „Die Möglichkeiten der Zusammenarbeit werden sich mit dem Abschluss der Baumaßnahmen deutlich verbreitern“, so Staatssekretär Deufel.

Die Modernisierung umfasst Maßnahmen zur Energiereduzierung durch Umrüstung auf ein neues Lüftungskonzept sowie die Erneuerung der Betriebstechnik und Medienversorgung (Wasser, Strom). Sie werden mit 6,8 Millionen Euro aus dem Konjunkturprogramm II des Bundes gefördert. Durch einen zweistöckigen Anbau und verbesserte Nutzung der Klimatechnik wird ein Flächengewinn von ca. 400 Quadratmetern geschaffen. Die Gesamtfläche und beträgt nach Abschluss des Baus 1000 Quadratmeter. Nach dem Stopp des Betriebes im Sommer 2010 können Anfang kommenden Jahres die Forschungsaktivtäten wieder aufgenommen werden.

Modernste Prozesse und Techniken der Mikrofabrikation kommen im Reinraum des IPHT zum Einsatz und werden weiterentwickelt. Unter anderem werden Technologien zur Herstellung hochempfindlicher Sensoren für Strahlungsempfänger erforscht. Diese sind zentraler Bestandteil der Terahertz-Sicherheitskamera. Aber auch mikrofluidische Bauteile sowie Chips für die Bioanalytik können direkt am IPHT entwickelt und produziert werden. Die Prozesskette geht bis zur Herstellung von Prototypen und Kleinserien. „Die Möglichkeit, diese Arbeiten hausintern zu verrichten, ist somit die Basis für den wissenschaftlichen Erfolg des gesamten Institutes“, unterstreicht Institutsdirektor Prof. Popp die gegenwärtige und zukünftige Bedeutung des Reinraumes.

Ihr Ansprechpartner:
Prof. Dr.
Jürgen Popp
Wissenschaftlicher Direktor des IPHT
Telefon +49 (0) 3641 206-300
Telefax +49 (0) 3641 206-399
juergen.popp@ipht-jena.de
(idw, 05/2010)

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